LCD RF პლაზმური მოწყობილობა

LCD RF Plasma Equipment არის მაღალი-ეფექტურობის სისტემა, რომელიც შემუშავებულია LCD, OLED და სხვა ბრტყელი პანელის ჩვენების მასალების ზედაპირის დასამუშავებლად. იგი შექმნილია თანამედროვე წარმოების მკაცრი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად, სადაც სტაბილური დამუშავება და მაღალი გამტარუნარიანობა თანაბრად მნიშვნელოვანია. საერთო სისტემის ზომებია 880 მმ × 790 მმ × 1710 მმ, ვაკუუმური კამერის ზომით 450 მმ × 450 მმ × 450 მმ. თითოეული ელექტროდის ფირფიტა არის 410 მმ × 430 მმ, ხოლო სუბსტრატების ხუთამდე ფენა შეიძლება დამუშავდეს ერთდროულად ერთ ციკლში.

 

ფუნქციონალური პერსპექტივიდან, მოწყობილობა უზრუნველყოფს მომხმარებლისთვის-მეგობრულ HMI-ს, რომელიც საშუალებას იძლევა პირდაპირ დაარეგულიროთ პროცესის ძირითადი პარამეტრები, როგორიცაა RF გამომავალი სიმძლავრე, ვაკუუმური ტუმბოს ხანგრძლივობა, ინდივიდუალური დამუშავების სეგმენტები და გაზის ნაკადის სიჩქარე. ეს პარამეტრები შეიძლება სწრაფად შეიცვალოს სხვადასხვა მასალების ან პროცესის მოთხოვნებთან ადაპტაციისთვის, რაც უზრუნველყოფს როგორც მოქნილობას, ასევე თანმიმდევრულობას სამრეწველო ოპერაციებისთვის.

გაზის მიწოდების სისტემა მხარს უჭერს სამ დამოუკიდებელ არხს და შეუძლია გაუმკლავდეს აზოტს (N2), არგონს (Ar), წყალბადს (H2) და ჟანგბადს (O2). ნაკადის მრიცხველები დაკალიბრებულია 0-200 მლ/წთ დიაპაზონში, კონტროლის სიზუსტით რყევების 5%-ზე დაბლა შენარჩუნებით. ყველა ძირითადი პნევმატური კომპონენტის მიწოდება ხდება SMC-ის მიერ და კამერის დალუქვა ეყრდნობა გამძლე ფტორ-რეზინის შუასადებებს, რაც უზრუნველყოფს ხანგრძლივ-სტაბილურობას მომთხოვნ გარემოში. პლაზმა წარმოიქმნება 13,56 მჰც სიხშირეზე მოქმედი თვით-რადიოსადგურის ადაპტირებადი ელექტრომომარაგების მეშვეობით, მაქსიმალური სიმძლავრით 1 კვტ, რაც უზრუნველყოფს ენერგიის საიმედო მიწოდებას ერთიანი დამუშავებისთვის.

სტრუქტურულად, კამერა დამზადებულია მაღალი-სისუფთავის 304 უჟანგავი ფოლადისგან, რათა მინიმუმამდე დაიყვანოს დაჟანგვა და კოროზია. სისტემა იყენებს ორმაგი-დალუქვის დიზაინს ვაკუუმური მთლიანობისთვის, ხოლო სპილენძის ელექტროდების დამჭერები კამერის უკანა მხარეს ამაგრებენ ჰორიზონტალურ ელექტროდის ფირფიტებს მრავალი ხრახნიანი საკეტით, რაც აუმჯობესებს სტაბილურობას და ენერგიის გადაცემას. დამატებითი გვერდითი საყრდენები კიდევ უფრო აძლიერებს ელექტროდებს. ვაკუუმის ბალანსი ოპტიმიზირებულია: სწრაფი-გამოშვების სარქველი იძლევა წნევის გათანაბრებას 5-10 წამში, ამცირებს უმოქმედობის დროს და ზრდის პროდუქტიულობას.

ოპერაციული უსაფრთხოების უზრუნველსაყოფად, მანქანა აღჭურვილია გაუმართაობის სიგნალიზაციის სისტემით. ის იწერს რაიმე არანორმალური მოვლენის თარიღს, დროს და მიზეზს, ხოლო ავტომატური გამორთვა ხდება კამერის და სამუშაო ნაწილების დასაცავად.

აპლიკაციის თვალსაზრისით, ეს მოწყობილობა ფართოდ არის გამოყენებული ჩიპების დაბრუნების-დაქვეითების პროცესებისთვის. პლაზმის გაწმენდა არასაკმარისი შევსებამდე მნიშვნელოვნად აძლიერებს ზედაპირის გააქტიურებას, აუმჯობესებს დატენიანებას და ზრდის ადჰეზიას სუბსტრატსა და ინკაფსულანტს შორის. შედეგად, ის არა მხოლოდ აუმჯობესებს შეფუთვის ხარისხს, არამედ აძლიერებს მოწინავე ეკრანისა და ნახევარგამტარული შეკრებების გრძელვადიან- საიმედოობას.

ცხელი ტეგები: lcd rf პლაზმური მოწყობილობები, ჩინეთი LCD rf პლაზმური მოწყობილობების მწარმოებლები, ქარხანა