პლაზმური გამწმენდების სპეციფიკური აპლიკაციები

პლაზმის გამწმენდი/საჭრელი მანქანები წარმოქმნიან პლაზმას დალუქულ კონტეინერში ორი ელექტროდის მოთავსებით ელექტრული ველის შესაქმნელად. ვაკუუმის ტუმბო გამოიყენება გარკვეული ვაკუუმის დონის შესანარჩუნებლად. როგორც გაზი სულ უფრო იშვიათი ხდება, მოლეკულებს შორის მანძილი და მოლეკულების ან იონების თავისუფალი მოძრაობა ასევე იზრდება. ელექტრული ველის გავლენით ეს იონები ეჯახებიან და ქმნიან პლაზმას. ეს იონები უაღრესად რეაქტიული არიან, აქვთ საკმარისი ენერგია თითქმის ყველა ქიმიური ბმის დასაშლელად, რაც იწვევს ქიმიურ რეაქციებს ნებისმიერ დაუცველ ზედაპირზე. სხვადასხვა გაზის პლაზმას განსხვავებული ქიმიური თვისებები აქვს. მაგალითად, ჟანგბადის პლაზმა ძლიერ ჟანგვის, შეუძლია დაჟანგვის ფოტორეზისტი წარმოქმნას გაზი, რითაც მიიღწევა გამწმენდი ეფექტი. კოროზიულ გაზის პლაზმას აქვს შესანიშნავი ანიზოტროპია, რომელიც აკმაყოფილებს ოქროვის მოთხოვნებს. პლაზმური დამუშავება წარმოქმნის ბზინვარებას, აქედან გამომდინარე, სახელწოდება მბზინავი გამონადენი.
პლაზმის გაწმენდის მექანიზმი, პირველ რიგში, ეყრდნობა პლაზმაში აქტიური ნაწილაკების „გააქტიურებას“ ზედაპირული ლაქების მოსაშორებლად. რეაქციის მექანიზმის თვალსაზრისით, პლაზმის გაწმენდა ძირითადად მოიცავს შემდეგ პროცესს: არაორგანული აირები აღგზნებულია პლაზმურ მდგომარეობაში; აირისებრი ნივთიერებები შეიწოვება მყარ ზედაპირზე; ადსორბირებული ჯგუფები რეაგირებენ მოლეკულებთან მყარ ზედაპირზე და წარმოქმნიან პროდუქტის მოლეკულებს; პროდუქტის მოლეკულები იშლება აირის ფაზაში; და რეაქციის ნარჩენები ამოღებულია ზედაპირიდან.

პლაზმური წმენდის ტექნოლოგიის ყველაზე მნიშვნელოვანი თვისება ის არის, რომ მას შეუძლია ნებისმიერი ტიპის სუბსტრატის დამუშავება, მათ შორის ლითონები, ნახევარგამტარები, ოქსიდები და პოლიმერული მასალების უმეტესობა, როგორიცაა პოლიპროპილენი, პოლიესტერი, პოლიმიდი, პოლივინილ ქლორიდი, ეპოქსია და პოლიტეტრაფტორეთილენიც კი. მას შეუძლია გაწმინდოს როგორც მთლიანი ზედაპირი და კონკრეტული ადგილები, ასევე რთული სტრუქტურები.