პლაზმური გამწმენდის შესავალი

პლაზმა, ისევე როგორც მყარი, სითხეები და აირები, არის მატერიის მდგომარეობა, რომელიც ასევე ცნობილია როგორც მატერიის მეოთხე მდგომარეობა. პლაზმა წარმოიქმნება, როდესაც საკმარისი ენერგია გამოიყენება გაზზე მისი იონიზაციისთვის. პლაზმის "აქტიური" კომპონენტებია იონები, ელექტრონები, რეაქტიული რადიკალები, აღგზნებული ნუკლიდები (მეტასტაბილური მდგომარეობები) და ფოტონები. პლაზმური ზედაპირის დამუშავების სისტემები იყენებს ამ აქტიური კომპონენტების თვისებებს ნიმუშის ზედაპირების დასამუშავებლად, ისეთი მიზნების მისაღწევად, როგორიცაა გაწმენდა, მოდიფიკაცია და ფოტორეზისტული ფერფლი.