პლაზმური ჭურვის აპარატის სტრუქტურა

ICP აღჭურვილობა ძირითადად შედგება ოთხი ნაწილისგან: წინასწარ-ვაკუუმური კამერა, ოქროვის კამერა, გაზმომარაგების სისტემა და ვაკუუმური სისტემა.

(1) წინასწარ-ვაკუუმური კამერა

წინასწარ-ვაკუუმური კამერის ფუნქციაა უზრუნველყოს, რომ ოხრვის კამერა შენარჩუნდეს დადგენილ ვაკუუმის დონეზე, არ მოექცეს გარე გარემოს (როგორიცაა მტვერი, წყლის ორთქლი) ზემოქმედებას და სუფთა ოთახიდან საშიში გაზების იზოლირებას. იგი შედგება საფარი, მანიპულატორი, გადამცემი მექანიზმი, საიზოლაციო კარი და ა.შ.

(2) ჭურვის კამერა

ოქროვის კამერა არის ICP ოქროვის აღჭურვილობის ძირითადი სტრუქტურა. ის პირდაპირ გავლენას ახდენს ოქროვის სიჩქარეზე, აკრიფის ვერტიკალურობაზე და უხეშობაზე. ჭურვის კამერის ძირითადი კომპონენტებია: ზედა ელექტროდი, ICP რადიოსიხშირული ერთეული, RF რადიოსიხშირული ერთეული, ქვედა ელექტროდის სისტემა, ტემპერატურის კონტროლის სისტემა და ა.შ.

(3) გაზმომარაგების სისტემა

გაზმომარაგების სისტემამ უნდა მიაწოდოს სხვადასხვა აირების აირები ოქროვის კამერაში და ზუსტად აკონტროლოს გაზის ნაკადის სიჩქარე და დინება წნევის კონტროლერის (PC) და მასის ნაკადის კონტროლერის (MFC) მეშვეობით. გაზმომარაგების სისტემა შედგება გაზის წყაროს ბოთლისგან, გაზის მიწოდების მილსადენისგან, კონტროლის სისტემისგან, შერევის ერთეულისგან და ა.შ.

(4) ვაკუუმ სისტემა
არსებობს ორი ვაკუუმის სისტემა, ერთი წინა-ვაკუუმური კამერისთვის და მეორე ოხრვის კამერისთვის. წინასწარ-ვაკუუმური კამერის ევაკუაცია ხდება მექანიკური ტუმბოს საშუალებით. მხოლოდ მაშინ, როდესაც ვაკუუმის დონე წინასწარ-ვაკუუმურ კამერაში მიაღწევს დადგენილ მნიშვნელობას, შეიძლება გაიხსნას იზოლაციის კარი ვაფლის გადასატანად. ვაკუუმი ოქროვის პალატაში უზრუნველყოფილია მექანიკური ტუმბოსა და მოლეკულური ტუმბოს საშუალებით. ოხრვის კამერაში რეაქციის შედეგად წარმოქმნილი აირები ასევე ევაკუირებულია ვაკუუმური სისტემით.